FS 系列：外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵

高速冲程

提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。

无污染设计

过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。

液体输送温度范围宽泛/高吐出压力

液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。

易于维护

更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。

传感器驱动系统

内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。

规格

FS-N 系列：适用于各类供药系统，吐出量达100L/min

高速冲程

高速冲程 (FS-80N最高达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力工况。

无污染设计

过流端采用氟树脂无污染构造，使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申请专利)。

高流量及高吐出压力
最大吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗及CMP制程。

传感器驱动系统

内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。

规格

FLP 系列：低脉动气动风囊泵

低脉动
独特的系统驱动机制，确保气囊最佳运动效果，将脉动减到最低。

减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下，减少高达30%的压缩空气消耗量。

高持续压力
最佳的气囊运动，有效提高压力的承受能力，以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力，尤其在单晶圆处理过程中。

无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器，节省设备空间及安装费用，例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。

规格